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微电子和半导体行业专用 >> 旋涂薄膜制备
VTC-100真空旋转涂膜机,匀胶机
VTC-100真空旋转涂膜机,匀胶机图片
型号: VTC-100
产地: 广东
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型号:VTC-100
产地:广东
仪器类型:匀胶机
产品介绍

VTC-100真空旋转涂膜机具有操作简单、清理方便,体积小巧等优点,主要应用于各大专院校、科研院所的实验室中进行薄膜的生成过程。设备标配3个不同大小的真空吸盘,可根据样品尺寸不同选择不同的真空吸盘。VTC-100真空旋转涂膜机工作时利用真空盘吸附的方式将样品固定在载样盘上,该设备利用两段程序控制速度。首先开动涂膜机将设备转数设置在一定的转数范围内,在此转数范围内设置一定的注胶时间对样品进行注胶,注胶结束后涂膜机会提升转数至**段的极限转数进行匀胶,在匀胶之前要对匀胶时间进行设置,当匀胶时间结束后机器自动停止运转,涂膜的整个过程结束。VTC-100真空旋转涂膜机利用高速旋转使粘滞系数较大的胶体、溶液等材料均匀地涂覆在样件表面。

产品名称

VTC-100真空旋转涂膜机

产品型号

VTC-100

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:设备配有进出水口。

2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地。

3、气:不需要

4、工作台:尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上

5、通风装置:需要

主要特点

1、采用二段程序控制速度,在**段低速阶段进行注胶,在**段高速阶段进行匀胶。

2、真空吸附方式固定样件,操作简便,取放样品方便。

3、采用铸铝结构,运行稳定、噪音低。

4、采用了电机与控制电源分别有单独的电源供电

5、调速采用抗干扰性高的单片机进行控制,转速在1000-8000 RPM范围内非常稳定。

6、 LED数字显示,拥有旋涂倒计时显示功能。

7、采用无油双杠真空泵,体积小巧、结构简单、操作容易、维护方便、不会污染环境等优点。

技术参数

1、AC220/110V 50/60Hz

2、功率:150W

3、转速:500-8000rpm

4、可设置两步涂膜程序,转速稳定性为±1%,使涂膜更加均匀。

SPD1转速:500-8000 RPM有效

T1 时间:1-600s有效

SPD2转速:500-8000 RPM有效

T2 时间:1-600s有效

5、载样盘直径100mm,逆时针旋转。

6、使用环境温度5-40℃,相对湿度不大于85%RH, 设备周围无强烈震源和腐蚀气体。

产品规格

尺寸:260mm×380mm×330mm;重量:20kg

标准配件

1

真空吸盘

(聚丙烯,Ø25mm、Ø50mm、Ø100mm)

各1个

2

滴液器

1个

3

无油真空泵

1台

可选配件

1、特殊真空吸盘(聚四氟乙烯、铝合金)

2、微型吸盘

3、过滤器(真空泵用)

4、进口移液器

5、国产移液枪

6、载样卡盘

载样卡盘

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