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微电子和半导体行业专用 >> 旋涂薄膜制备
VTC-300USS超声雾化旋转涂膜机,喷胶机
VTC-300USS超声雾化旋转涂膜机,喷胶机图片
型号: VTC-300USS
产地: 广东
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型号:VTC-300USS
产地:广东
产品介绍

VTC-300USS超声雾化旋转涂膜机,喷胶机可以精确控制溶液化学计量比、雾粒喷出速度、雾粒大小等参数。VTC-300USS超声雾化旋转涂膜机,喷胶机采用步进电机和微处理器控制容积泵精确输送溶液(溶液可以选择被加热或不被加热);雾化器被固定在可摆动的支撑臂上,从而确保涂层的均匀性,通过超声波雾化器喷出的雾状颗粒在基片上沉积作用,可以制备厚度较薄的微纳米涂层;VTC-300USS超声雾化旋转涂膜机,喷胶机可吸附的基片直径可长达12"(300mm),同时可控制基底温度使薄膜快速烘干(选择可加热衬底的烘烤灯),以满足实验需要。

产品型号

VTC-300USS超声雾化旋转涂膜机,喷胶机

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:不需要

2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地

3、气:设备喷头为气动辅助,需配套空气压缩机或者气瓶(含减压阀)

4、工作台:占地面积2m2以上

5、通风装置:需要

主要特点

超声雾化法是将溶液雾化后喷涂到基体上,从而得到想要的物质结构,可选配上部加热烘烤结构。此种材料制备方法特别适用于沉积氧化物,而且在制备透明电极的应用中已有相当长的历史。现在这种方法在制备钙钛矿型太阳能电池中得广泛应用。

技术参数

1、输入电源:208V-240V 50Hz/60Hz

2、旋转涂膜模块

基片直径200mm,最高转速可达3000rpm;基片直径300mm,最高转速可达3000rpm。

3、超声雾化模块

颗粒大小: 10um-20um

流量大小: 0.6pl~4ml/min

固体含量: ≤ 10%

粘度大小: ≤ 100cPs

4、注液系统

本司提供多种形式的供液系统(单路、多路、加热等)

 注射泵

产品规格

标准配件

旋转机构1套;超声雾化电源+雾化喷头1套;单路供液系统1套;无油泵1台

可选配件

多路(可加热)供液系统,烘干装置等
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