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微电子和半导体行业专用 >> 旋涂薄膜制备
VTC-200P真空旋转涂膜机,匀胶机
VTC-200P真空旋转涂膜机,匀胶机图片
型号: VTC-200P
产地: 广东
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型号:VTC-200P
产地:广东
仪器类型:匀胶机
产品介绍

VTC-200P真空旋转涂膜机适用于半导体、晶体、光盘、制版等表面涂覆工艺。本机可用于强酸、强碱性涂覆溶液的涂膜制备。VTC-200P真空旋转涂膜机腔体不可抽真空,工作时利用真空盘吸附的方式将样品固定在载样盘上,该设备可储存12组程序,每组程序包含6个运行阶段。不同运行阶段设备转数不同,使设备缓慢提升速度至极限速度,有利于薄膜材料在样品表面均匀成膜,且不会过多浪费,节约材料。腔室的上盖可以对样品进行加热(可选功能),有利于粘稠度大的薄膜材料的涂覆过程的进行。VTC-200P真空旋转涂膜机具有操作简单、清理方便,体积小巧等优点,主要应用于各大专院校、科研院所的实验室中进行薄膜的生成过程。

产品名称

VTC-200P真空旋转涂膜机

产品型号

VTC-200P

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:设备配有进出水口

2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地

3、气:不需要

4、工作台:尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上

5、通风装置:需要

主要特点

1、设有12组程序,每组包含6个运行阶段,每段增减速率设置范围:100—2000rpm/s,每段时间范围:0—60s。

2、真空吸附方式固定样件,操作简便。

3、吸盘真空度可以达到-0.08MPa。

4、使用定位工具可将样件很容易地放在中心位置,以减少偏心而造成的震动或飞片。

5、根据样件规格可以配用不同的吸盘,且更换方便简单。

6、电机采用24V直流无刷电机,无级调速,可靠性高,适应性强,维修与保养简单,噪音低,震动小,运转平稳,启动快速稳定,加速后运行平稳,可以保证涂层厚度的一致性和均匀性。

7、本机可置于手套箱内使用,但控制部分与真空泵需置于箱外。

8、可在惰性气体气氛(如Ar、N2)下进行涂层。

9、采用无油双杠真空泵,体积小巧、结构简单、操作容易、维护方便、不会污染环境等优点。

10、腔体通体采用聚丙烯材质,使用寿命更长,提高耐化学腐蚀性和优异的抗应力开裂性能。

11、全英文操作系统。

12、具有开盖保护功能,当涂膜过程中或涂膜结束时打开上盖后机器立刻迅速减速直到停止

13、控制器采用单控制箱,液晶显示数值,更直观可靠。

技术参数

1、电源:220V 50HZ

2、电机功率:350W/24V

3、转速:500rpm-6000rpm之间可调

4.可储存12组程序,每组程序包含6个运行阶段,

5、每段增减速率设置范围:100 rpm s—2000 rpm /s,每段时间范围:0-60s

6、吸盘规格φ100mm

7、本机可选配加热功能:加温范围RT-100℃

加热盖,水槽及吸盘采用聚丙烯材质

温度单独控制,与主机程序控制无关联

产品规格

尺寸:φ250mm×360mm;重量:20kg

标准配件

1

φ100mm真空吸盘

1个

2

O型胶圈

1个

3

滴液器

1个

4

滴液器支架

1个

5

中心定位器

1个

6

无油真空泵

1台

可选配件

进口移液器

国产移液枪

其它尺寸的真空吸盘

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