微型PECVD系统采用Ø3" × 16" 的石英腔体，内部设有加热圈对样品进行加热，最高温度可以达到400℃，且采用程序化控温，系统还配有2通道混气装置和双旋机械泵，整套系统安放于移动架上，便于实验操作。本系统系对于薄膜生长和纳米线的制作是***选择。
产品型号 | 微型PECVD系统 |
| 安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：不需要 2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地 3、气：设备腔室内需充注气体，需自备气瓶气源 4、工作台：尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上 5、通风装置：需要 |
主要特点 | 1、加热圈套有石英罩，以减小热量损失。 2、样品可置于加热线圈内，以达到更好的加热效率和温度均匀性。 3、采用PID方式调节温度，可设置30段升降温程序。 4、设有一滑动法兰安装于移动加上，以便于样品的放入和取出。 5、已通过CE认证。 |
技术参数 | 等离子源 1、等离子体射频电源：110V/220V 50Hz/60Hz <100W 2、输出频率：13.56MHz 3、射频功率：7.2W、10.5W、18W三档，可调节 4、腔体尺寸：外径Ø76.2mm×内径Ø68.58mm×长406.4mm 5、加热圈：电源220V，最大功率500W，外径Ø50mm×内径Ø40mm×70mm，并套有内径Ø50.8mm×Ø75mm的石英罩 6、法兰：Ø3″不锈钢法兰，设有KF-25真空泵接口、1/4″卡套接头、不锈钢针阀 7、通入气体：可通入多种惰性气体，如N2、Ar，不可通入易燃易爆性气体 8、真空度：10-2torr（机械泵） |
两通道混气系统 1、浮子流量计：10ml/min-100ml/min，2个 2、针阀：304不锈钢针阀，3个 3、压力表：-0.1MPa-1.0MPa（0.01MPa/grid），3个 |
真空泵 1、抽气速率：120L/min 2、接口：KF-25 |
产品规格 | 1、尺寸：等离子源216mm×254mm×203mm，控制盒102mm×254mm×203mm， 两通道混气系统340mm×300mm×180mm，移动架600mm×600mm×1250mm 2、重量：32kg |
