VTC-100PAX真空旋转涂膜机

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微电子和半导体行业专用 >> 旋涂薄膜制备

VTC-100PAX真空旋转涂膜机

型号: VTC-100PAX
产地: 广东
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产品介绍

VTC-100PAX真空旋转涂膜机是一款高性能精密匀胶机，采用了先进的设计理念，配合精密的运动控制系统，可以实现高精度、高均匀度的匀胶操作。可以存贮6组程序，每组程序可达9步。所有运行参数如转速、加速度、转动时间等都可在设备上方便设置。

产品名称

VTC-100PAX真空旋转涂膜机

技术参数

1、电机功率：100w

2、电源输入：220V 50Hz

3、每组程序段数：9段

4、每段时间范围：0-999S

5、速度范围：500-10000rpm

6、可存储程序程序组数：6组

7、加速度范围：100-2000rpm/s

8、真空输入要求：0.06-0.09Mpa

9、真空接口：设备后板出口外径6mm

产品规格

1、外形尺寸：270mm（宽）×430mm（深）×400mm（高）

2、重量：12kg