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微电子和半导体行业专用 >> 旋涂薄膜制备
VTC-100PAH真空旋转涂膜机
VTC-100PAH真空旋转涂膜机图片
型号: VTC-100PAH
产地: 广东
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型号:VTC-100PAH
产地:广东
产品介绍

VTC-100PAH真空旋转涂膜机适用于半导体工艺、晶体、光盘、制版及表面涂覆等工艺,可用于强酸、强碱涂覆溶液。样件固定采用真空吸附方式。使样件取放自如,操作简单。电机启动快速度稳定,可以保证涂层厚度的一致性和均匀性。VTC-100PAH真空旋转涂膜机具有操作简单、清理方便,体积小巧等优点,主要应用于各大专院校、科研院所的实验室中进行薄膜的生成过程。

产品名称

VTC-100PAH真空旋转涂膜机

产品型号

VTC-100PAH

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:设备配有进出水口

2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地。

3、气:不需要

4、工作台:尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kgs以上

5、通风装置:需要

主要特点

1、真空吸附方式固定样件,操作简便。

2、真空度可以达到-0.08MPa。

3、根据样件规格可以配用不同的吸盘,且更换方便简单。

4、可靠性高,适应性强,维修与保养简单,噪音低,震动小,运转平稳,启动快速稳定,加速后运行平稳,可以保证涂层厚度的一致性和均匀性。

5、采用无油双杠真空泵,体积小巧、结构简单、操作容易、维护方便、不会污染环境等优点。

6、腔体采用聚丙烯材质,使用寿命更长,提高耐化学腐蚀性和优异的抗应力开裂性能;机身采用铸铝结构,结实耐用且质轻。

7、具有真空检测、开盖检测功能,且上盖带有保护锁。

8、具有开盖保护功能,当涂膜过程中或涂膜结束时打开上盖后机器立刻迅速减速直到停止。

9、中/英文可变换操作系统。

10、控制界面采用触摸显示屏,数值显示更直观可靠。

技术参数

1、电压:24V 适配器 24V/15A

2、电机功率:300W

3、操作界面:7寸触摸屏

4、速度范围:设定:1500-20000rpm(递增量为:100rpm为单位)

5、程序包含16个运行阶段

6、每段增减速率设置范围:100 rpm s—6000 rpm /s

7、时间范围:1-99s(设定速度范围:1500至10000rpm);

1-60s(设定速度范围:大于10000至20000rpm)。
8、吸盘规格:2英寸, 4英寸

产品规格

尺寸:250mm×340mm×320mm;重量:12kg

标准配件

1

真空吸盘(含O型圈)

2个(2英寸和4英寸)

2

滴胶注射器(20ml)

1个

3

无油真空泵

1台

4

适配器24V/15A

1个

可选配件

进口移液器

国产移液枪

其它尺寸的真空吸盘

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