VTC-100旋转涂膜机载样卡盘

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微电子和半导体行业专用 >> 旋涂薄膜制备

VTC-100旋转涂膜机载样卡盘

型号: VTC-100
产地: 广东
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产品介绍

VTC-100旋转涂膜机载样卡盘可以进一步增加设备的使用广泛性，在保持原有真空吸盘的基础上，增加一款凹槽卡盘，即凹槽内放置模板，在模板内开与基片相同大小的孔，增加其使用的广泛性。

产品名称

VTC-100旋转涂膜机载样卡盘

技术参数

1、载样盘样式：

材质：聚丙烯

载样盘直径φ100mm

凹槽规格：90×90×1.0mm

2、模板规格:

材质：树脂

模板尺寸：90×90×0.3mm、90×90×0.5mm（厚度可按客户需求定制）

开孔大小：块状≤76×76mm、孔状≤φ76mm