产品简介：VTC-200-SE 8寸柜式喷胶机是一种满足半导体TSV、MEMS、WLP等工艺制程中异形表面的喷胶作业设备。是一种采用高精度微量液体平流传输和超声波雾化震荡技术均匀喷涂在一定温度的物件表面,多次沉积成均匀涂层膜的纳米喷胶设备。VTC-200-SE 8寸柜式喷胶机采用铝型材机柜,耐腐蚀透明PC板和喷塑机柜钣金组成,美观大方。七寸全彩触屏界面,高精密电缸和伺服系统控制,整体设计布局合理,简单易用。
产品名称 | VTC-200-SE 8寸柜式喷胶机 |
主要特点 | 1、全柜式集成结构，工业级设计 2、最大适合8寸晶圆，向下兼容，基片工装方便更换 3、XYZ三轴电缸设计，喷头高度程序可设置 4、转盘加热旋转系统，工作区高热均匀性 5、微量平流系统，流速平稳，流量精确可调 6、采用超声喷雾系统，雾化颗粒均匀，功率可调 7、带基片吸附和电动顶针功能，方便上下片和计时功能 8、带胶液监测功能，顶部抽风，保证工业生产需要 9、七寸全彩触屏操作，手动调试和自动运行两种操作模式 |
技术参数 | 1、电源：AC220V，50HZ，1.5KW 2、工作环境：湿度：20-90%，温度20-30℃ 3、处理Wafer尺寸：200mm以下，向下兼容 4、热盘温度控制：室温至200℃，控温精度±0.5℃，工作区温度均匀性 小于±1% 5、基片顶升系统：顶升高度0-15mm，高度分辨率0.1mm 胶液流速范围 1-20ml/min可调 6、热盘电机额定转速：1000rpm 7、XY电缸移动最大速度：X轴200mm/s，Y轴200mm/s 8、XY电缸有效行程：300mm×300mm 9、超声波雾化粒径：30-50μm 10、操作系统：人机互动界面，PLC控制 11、喷嘴移动方式：电动机械组合XYZ三轴电缸 |
产品规格 | 1、机器尺寸：1000mm×880mm×1800mm （长×宽×高） 2、重量：55Kg |
