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微电子和半导体行业专用 >> 旋涂薄膜制备
VTC-100PA-UV型紫外光旋转涂膜机,匀胶机
VTC-100PA-UV型紫外光旋转涂膜机,匀胶机图片
型号: VTC-100PA-UV
产地: 广东
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型号:VTC-100PA-UV
产地:广东
仪器类型:匀胶机
产品介绍

产品简介

VTC-100PA-UV型紫外光旋转涂膜机、匀胶机、甩胶机、旋涂仪、spin coater适用于半导体工艺、晶体、光盘、制版及表面涂覆等工艺。该机腔体采用聚丙烯材质,耐腐蚀且使用寿命长,可用于强酸、强碱溶液的涂覆。本机上盖具有紫外灯光照射的功能,尤其适用于对紫外光敏感的胶体,可使涂覆后的胶体迅速固化;此外紫外灯还具有聚合作用,可以把单体聚合成聚合物膜。上盖中心位置为注液孔,注液孔配有胶塞,当腔体需要密闭的环境时应将胶塞堵好。腔体带有进气孔,可在匀胶过程中对腔体通保护气。样件采用真空吸附方式进行固定,操作简单,使样件取放自如。配用专用定心工具可使样件很容易放在吸盘中心位置,以减少偏心带来的震动,避免造成飞片。根据样件的大小可以选择不同规格的吸盘,吸盘更换简单方便。本机使用精密直流无刷电机,启动快、速度稳定,可以保证涂层厚度的一致性和均匀性。

产品型号

VTC-100PA-UV型紫外光旋转涂膜机、匀胶机、甩胶机、旋涂仪、spin coater

主要特点

1、采用真空吸盘固定样件,样件固定牢固且取放简单方便;真空吸盘大小可根据需要进行定制。

2、该机上盖具有紫外灯光照射的功能,紫外光的强度可以在一定范围内进行调整。

3、本机上盖中心位置为注液孔,注液孔配有注液孔塞,当腔体需要密闭环境时可使用该孔塞将孔密闭。

4、该机带有保护气接孔,可对腔体通保护气。

2、电机部分、紫外灯光控制部分分别使用独立的电源进行控制。电机调速系统采用单板机+液晶显示屏进行控制,数值显示更直观可靠,转数在500-10000RPM内可调;紫光灯采用抗干扰性强的PLC控制器进行控制。

3、涂膜机在工作时设有两个阶段,在启动前根据实际需要,可分别进行时间1、转速1、时间2、转速2的设置。设置完成启动后,涂膜机先以转速1在时间1时间内运转,使涂膜物质逐渐分散开。当时间1结束后,涂膜机自动进入时间2阶段运转,使涂膜物质更加均匀。

3、紫光灯真空旋转涂膜机启动快速、转数稳定,可以保证膜层厚度的均匀性与一致性。

4、在安装结构上,采取了减震措施,降低运转时的噪音。

5、腔体采用聚丙烯材质,使用寿命更长,提高耐化学腐蚀性和优异的抗应力开裂性能;机身采用铸铝结构,结实耐用且质轻。

技术参数

1、电源:AC220/110V 50/60Hz

2、电机功率: 350W/24V

3、速度范围:500-10000rpm

4、可储存1组程序,程序包含2个运行阶段,每段增减速率设置范围:

100 rpm s—2000 rpm /s,每段时间范围:0-600s

5、吸盘规格:φ19mm φ60mm

6、保护气进气孔规格:φ8㎜

7、真空气孔规格:φ8㎜

8、紫光灯功率范围:8-30W

9、紫光灯时间设置范围:1-800S

10、外形尺寸:450×280×340mm

11、重量:20Kg

标准配件

1

真空吸盘

2件(φ19 mm和φ60 mm)

2

中心定位器

1件

3

无油真空泵

1台

可选配件

进口移液器

国产移液枪

真空吸盘

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